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來源:京華儀器 來源:m.rrnow.cn 發(fā)布時(shí)間:2020-11-18

真空泵的種類


  真空泵是采用機(jī)械或物理化學(xué)的方式來對密閉容器進(jìn)行抽氣從而獲取真空的儀器設(shè)備,根據(jù)使用環(huán)境和方式的不同,真空泵的種類也變得琳瑯滿目。通常真空泵的分類都是按照三個(gè)方面來區(qū)分的,分別是工作原理、真空度高低和結(jié)構(gòu)特點(diǎn),今天我們就來分別了解一下。

  一、工作原理:按照工作原理可分為氣體轉(zhuǎn)移式真空泵和氣體捕獲式真空泵兩種。氣體轉(zhuǎn)移式真空泵是一種通過將氣體不斷的吸入和排出以此來達(dá)到抽真空目的的真空泵,使用該原理的真空泵油變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸真空泵兩種。氣體捕獲式真空泵是通過將氣體分子吸附在泵的內(nèi)表面從而使密封容器內(nèi)部的氣體分子減少從而達(dá)到抽真空的目的真空泵,其中代表性的應(yīng)用有螺桿式真空泵、分子真空泵、旋片式真空泵、噴射真空泵和活塞式真空泵等。

  二、真空度:除了粗真空和低真空可以使用一種真空泵完成,高真空以上的領(lǐng)域一定要兩種以上的真空泵機(jī)組才可以完成。我們按照真空度來進(jìn)行分類可大致分為14大類,分別為:

  1、高/超真空:低溫泵、分子泵、擴(kuò)散泵、鈦升華泵、濺射離子泵。

  2、中真空:干泵、羅茨泵、油增壓泵、雙級旋片泵、水蒸汽噴射泵。

  3、粗/低真空:液環(huán)泵、滑閥泵、單級旋片泵、往復(fù)式真空泵。

  三、結(jié)構(gòu)特點(diǎn):根據(jù)真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)可分為機(jī)械式真空泵和射流式真空泵兩種,通過機(jī)械的運(yùn)動(dòng)來不斷改變真空泵的吸氣容腔容積從而獲得真空的真空泵,我們稱之為機(jī)械式真空泵。機(jī)械式真空泵有旋片泵、螺桿泵、羅茨泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵和旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。噴射式真空泵則是利用流體傳遞能量和質(zhì)量,是由噴嘴、吸入室和擴(kuò)壓管三部分組成,本身并沒有運(yùn)動(dòng)部件。它的工作原理是利用高壓的工作流體從噴嘴高速噴出,經(jīng)過能量轉(zhuǎn)換后在噴嘴的出口形成真空的區(qū)域,從而將被抽取的介質(zhì)吸出來,兩種介質(zhì)會(huì)在擴(kuò)壓管內(nèi)進(jìn)行能量交換然后排出,以此來達(dá)到抽真空的目的。采用射流式的真空泵有空氣噴射泵、水蒸氣噴射泵和其他類型的擴(kuò)散泵等。


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